國產深紫外光刻機量產，長鑫有望首批採用

國產深紫外光刻機進入批量生產，計劃2027年產20臺，長鑫內存或成首批用戶。

Woofun AI 獲悉，一家獲中國政府支持的企業已啓動國產深紫外光刻製造設備的批量生產。該企業計劃於2026年生產約5臺設備，2027年產量提升至20臺左右。儘管產能與阿斯麥去年交付的131套浸沒式深紫外光刻系統仍有差距，但此舉標誌着中國半導體供應鏈自主可控取得進展。