國產浸沒式DUV光刻機今年預計交付約5臺

上海國企啓動小批量生產，首批設備將交付中芯國際等廠商，但關鍵部件仍依賴進口。

據 Woofun AI 消息，一家未具名的上海國有企業已開始小批量生產國產浸沒式深紫外（DUV）光刻機，計劃今年交付約5臺，並預計在2027年將年產量提升至20臺左右。

首批設備將交付給中芯國際、華虹半導體及長鑫科技等芯片製造企業，但需經過精度、穩定性及產線兼容性測試，耗時可能長達數月。目前該設備多數組件實現國產化，但部分關鍵部件仍依賴日本進口，性能與質量落後於阿斯麥。相比之下，阿斯麥預計2025年交付約131臺同類設備。