上海微电子展示新一代前道光刻机模型

据 Woofun AI 消息，11 月 5 日至 10 日第九届中国国际进口博览会在上海举行期间，上海微电子装备集团在中国馆展示了自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机模型 SSC800 和 SSB800。该设备旨在展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。目前国产前道干式光刻机的成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度和生产效率正紧密追赶国际标杆。