国产深紫外光刻机量产，长鑫有望首批采用

国产深紫外光刻机进入批量生产，计划2027年产20台，长鑫内存或成首批用户。

Woofun AI 获悉，一家获中国政府支持的企业已启动国产深紫外光刻制造设备的批量生产。该企业计划于2026年生产约5台设备，2027年产量提升至20台左右。尽管产能与阿斯麦去年交付的131套浸没式深紫外光刻系统仍有差距，但此举标志着中国半导体供应链自主可控取得进展。