国产浸没式DUV光刻机今年预计交付约5台

上海国企启动小批量生产，首批设备将交付中芯国际等厂商，但关键部件仍依赖进口。

据 Woofun AI 消息，一家未具名的上海国有企业已开始小批量生产国产浸没式深紫外（DUV）光刻机，计划今年交付约5台，并预计在2027年将年产量提升至20台左右。

首批设备将交付给中芯国际、华虹半导体及长鑫科技等芯片制造企业，但需经过精度、稳定性及产线兼容性测试，耗时可能长达数月。目前该设备多数组件实现国产化，但部分关键部件仍依赖日本进口，性能与质量落后于阿斯麦。相比之下，阿斯麦预计2025年交付约131台同类设备。